真空燒結(jié)爐設(shè)計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，主要是在真空或者是保護氣氛的條件下，通過利用中頻感應(yīng)加熱的原理，讓硬質(zhì)的合金刀頭以及各種金屬粉末壓制體實現(xiàn)燒結(jié)的一個成套設(shè)備，是專門為硬質(zhì)合金、陶瓷材料以及金屬的工業(yè)生產(chǎn)而設(shè)計的，它是在真空環(huán)境里面對被加熱物體進行保護性燒結(jié)的爐子。

　　主要優(yōu)點：

　　1.減少了氣氛中有害成分(水、氧、氮)對產(chǎn)品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量降至一4?！娴穆饵c是相當(dāng)困難的，而真空度只要達到133Pa就相當(dāng)于含水量為一4?！娴穆饵c。而獲得這樣的真空度是并不困難的。

　　2.對于不宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛(如活性金屬的燒結(jié))，或容易出現(xiàn)脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結(jié)。

　　3.真空可改善液相對固相的潤濕性，有利于收縮和改善合金的組織。

　　4真空燒結(jié)有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質(zhì)或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。

　　5.真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應(yīng)氣體產(chǎn)物，對促進燒結(jié)后期的收縮有明顯作用。如真空燒結(jié)的硬質(zhì)合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結(jié)的硬質(zhì)合金。

　　6.真空燒結(jié)溫度比氣體保護燒結(jié)的溫度要低一些，如燒結(jié)硬質(zhì)合金時燒結(jié)溫度可降低10。~150℃。這有利于降低能耗和防止晶粒長大。

　　

　　真空燒結(jié)爐的安全操作規(guī)程：

　　1.中頻電源、真空爐爐體、感應(yīng)圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質(zhì)。

　　2.開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應(yīng)圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調(diào)整水壓控制在規(guī)定值。

　　3.檢查真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后，人工轉(zhuǎn)動真空泵皮帶盤，如無異常，可在關(guān)閉蝶閥的情況下，啟動真空泵。

　　4.檢查真空爐體內(nèi)情況，要求真空爐體內(nèi)一級衛(wèi)生，感應(yīng)圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。

　　5.檢查真空爐體的杠桿手把啟動是否靈活。

　　6.檢查轉(zhuǎn)動式麥?zhǔn)险婵沼嬍欠窈虾跻蟆?/div>